• 创新南大

    打造具有国际竞争?的?纯电?材料研发创新中?


    四大核心技术优势

    持续攻克“卡脖子”,打破封锁,创造了许多项“中国第一”

    中国制造的第一瓶三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝、三乙基镓等MO源产品;
    第一瓶砷烷、磷烷
    第一支193nm ArF光刻胶
    • 863

      国家高技术研究发展计划
    • 02

      专项计划
    • 17%

      硕?学位以上占?
    • 215

      研发专家

    科研实力

    江苏南?光电研发中?致?于国家急需的关键电?材料的研发和产业化,研发?向 包括先进光刻胶、特种?体、泛半导体材料、原?层沉积前驱体及OLED有机新材料等。

    实验室

    实验室

    中?拥有13500平?现代化实验室以及众多先进的研发、分析、测试设备,包括 193nm浸没式光刻机1台、?分辨核磁5台、ICP-MS4台、ICP-OES 2台、各种 质谱3台以及进?升华仪.蒸镀机、荧光光谱仪.OLED光电测试lVL系统等其他?型仪器。

    创新平台

    创新平台

    国家?新技术企业
    江苏省?纯电?材料?程研究中?
    江苏省企业技术中?
    江苏省?纯?属有机化合物MO源材料?程技术研究中?
    博?后科研?作站
    江苏省外国专家?作室
    材料科学姑苏实验室

    研发团队

    研发团队

    中?拥有研发?员215?,其中外籍专家9?,国家级重大人才工程3人,江苏省“双创?才”7名,姑苏创新创业领军?端?才6名。团队中博?学位14名,硕?学位以上占?超过17%。

    技术突破

    • 打破封锁

      1986年,MO源作为前驱体核心材料纳入国家高技术发展计划。
      2000年,金沙官网js80806-(北京)有限公司成立,MO源成功实现产业化,成功打破“巴统”和国外公司的技术垄断,并在“神舟”飞船、“东4”大卫星平台系列卫星等航天器的太阳能电池上成功得到运用,为金沙官网js80806国航天事业和国防建设的发展做出了突出的贡献。

    • 产业提升

      2016 年,承接国家“02-专项”(“20-14nm先导产品工艺开发”)课题,现已建成具备合成、纯化、分析、封装等功能的ALD前驱体研发中心和生产线,完全满足20-14nm芯片产品的制造要求。
      2021年一季度,华为和中芯国际面临国际禁售,在相关部委的支持下,在28nm和14nm ALD技术研发及产业化不断进步,先后有7个先进芯片制造工艺中的“卡脖子”前驱体产品实现了产业化,解决了受制于人的“禁售”困难。

    • 国际领先

      2017年11月,引入陶氏化学的高K三甲基铝生产线,2020年10月正式投产,在开发高端半导体的进程中,扮演关键材料供应商的重要市场角色。 2020年12月,跨国并购杜邦集团19项专利资产组,6项技术属于全球首创技术,一举迈入国际领先的前驱体材料企业行列。

    • 自主创新

      2013年,获得国家“02-专项”高纯特种电子气体研发与产业化项目支持。
      2016年,经过3年的技术开发,成功实现了国内30年未能解决的高纯砷烷、磷烷等特种电子气体的研发和产业化难题,一举打破了国外技术封锁和垄断,为金沙官网js80806国极大规模集成电路制造提供了核心原材料。

    • 替代进口

      目前,砷烷品质己达到7N,技术居全球前列,产能跃居全球第一,并进入国际一流公司供应链。磷烷的技术水平也已居全球前列,产能为全球第二。

    • 产业整合

      2019年8月,金沙官网js80806-(北京)有限公司成功并购飞源气体,开始布局氟系列电子特气。依托金沙官网js80806-(北京)有限公司客户、机制和技术优势,进行60多项技术创新,迅速提升产能、品质,降低成本,二年实现三氟化氮产能4000吨、六氟化硫产能3000吨,成本全球领先,产能国内第二、全球第三。

    • 国际领先

      一是扩展现有高纯磷烷、高纯砷烷氢类电子特气,进军氟系、硅系和硼系特种气体;
      二是持续开发先进纯化工艺、先进吸附剂及负压安全吸附技术以及特种气体废气处理材料,提升电子特气产品纯度,尤其7N级别高纯磷烷砷烷、5N级别BF3等高端领域的应用;
      三是 “123”新奋斗目标:在内蒙古打造一个世界级的氟硅电子材料基地,实现“绿色能源+绿色制造”,以“双绿”跻身世界;培养三个世界单项冠军。

    • 打破技术封锁

      2017年,公司承接国家“02-专项”“高分辨率光刻胶产品关键技术的研究”项目,实现了光刻胶基础配方分辨率28nm技术节点的要求和项目原定的技术指标要求,得到了“02-专项”项目验收专家组的高度认可。
      2018年,02重大专项实施管理办公室决定由金沙官网js80806司承担193nm浸没式光刻胶产品开发和产业化项目,向金沙官网js80806国真正拥有ArF光刻胶产品的方向继续迈进。

    • 实现产业化

      2019年底,公司在宁波市北仑区完成了第一条光刻胶生产线建设,产能达到10吨/年的规模, 第二条光刻胶生产线于2020年完成建设,总产能达到25吨/年。同时在国家重大科技攻关项目的支持下,向光刻胶配套原材料领域展开技术攻关。
      2020年4月,成为中国首个购买ASML 193nm浸没式光刻机的电子材料企业。
      2020年底和2021年5月,193nm ArF光刻胶先后通过存储和逻辑两家芯片制造企业的验证,为量产打下了坚实基础,成为国内首个通过验证的ArF光刻胶产品,ArF光刻胶研发和产业化取得关键性突破,被列为国家攻克“卡脖子”工程的标杆。
      2021年建党100周年前夕,顺利通过国家“02-专项”验收。

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